b. 传热机理:传导、对流和辐射;
■热传导是通过固体、液体和气体或两个紧密接触的介质之间流动的过程;
■对流是两个表面间由于流速不同而导致的热能传输;
■辐射是通过电磁辐射传热的,主要发生在红外波段(0.1~100um);温度为0K以上的所有物体都会发生热辐射;温度辐射体可分为:黑体(灰体和选择性辐射体)和非黑体;
1)半导体:
a. Si和Ge:硅的导热率150W/(m•k)、锗的导热率77W/(m•k);
b. 化合物半导体:SiGe 150W/(m•k)、SiC 155W/(m•k)、GaAs 45W/(m•k)、InP 97W/(m•k)、GaP 133W/(m•k)、GaSb 33W/(m•k)、 GaN 16~33W/(m•k)、InAs 35W/(m•k)、InSb 19W/(m•k);
a. AuSi共晶焊:共晶温度为370℃,导热率为27 W/(m•k);
b. 软钎焊:AuSn(共晶温度为280℃导热率57 W/(m•k) CTE为15.9ppm)、AuGe(共晶温度为361℃导热率44 W/(m•k) CTE为13.4ppm)和Sn96(共晶温度为221℃导热率33 W/(m•k) CTE为33.2ppm);
c. 掺Ag玻璃:由约60%的片状Ag粉、20%的玻璃和20%有机粘结剂(在工艺过程中会完全烧毁)组成,其热导率约为60~80 W/(m•k),典型工艺温度为400~420℃;
d. 有机粘接剂:填充有贵金属的聚酰亚胺、氰酸酯和环氧树脂被广泛用于芯片粘接,Ag是最常用的填充材料,特定应用中Au和Cu也可用作填充材料,为提高导热率可加入例如B3N4、AlN、Al2O3和CVD金刚石作为填充物;另外有机粘接剂可分为热固性和热塑性两种;
a. 氧化铝(Al2O3):导热率为12~35 W/(m•k),与纯度相关;CTE为6.3ppm(25~400℃);
b. 氧化铍(BeO):导热率为248 W/(m•k);CTE为6.4ppm(25~400℃);需要注意的是Be化合物的粉尘会引起慢性Be病(CBD),称为铍中毒;
c. 氮化铝(AlN):导热率为170W/(m•k);CTE为4.7ppm(25~400℃);一个明显缺点是在高温下与水接触会分解成无定形的氢氧化铝;
d. 低温共烧陶瓷(LTCC):是DuPont公司1985年商品化的一项厚膜工艺技术,其热导率范围为2.0~4.4 W/(m•k),CTE为4.5~8.0ppm,取决于制造商和生瓷带的具体成分;LTCC中导热通孔的使用是提高热导率的标准方法;
e. 薄膜多层基板:用于制造多芯片模块(MCM-D),其总热阻由串联的两个热阻组成,多层薄膜部分和支撑材料部分,另外设计者也可以使用导热通孔阵列提高有效热导率;
f. 钢基板:用钢上介电材料(DOS)对不锈钢进行绝缘处理,例如Heraeus公司的Cermalloy GPA98-047的热导率为4.3 W/(m•k);
g. CVD金刚石:合成金刚石或化学气相淀积CVD金刚石是一种热导率非常高的材料,其热导率大于1300 W/(m•k),故既可用作基板也可用作散热片;
h. 绝缘金属基板(IMS):既可用作基板也可用作电路卡,它们是单面包覆多层金属的板,绝缘金属基板是排列在18in×24in的板上制备的,所以是FR-4印制电路卡的廉价、高导热率的替代物;其基板一般为Al,也可以是Cu、Cu-Invar-Cu、Cu-Mo-Cu或钢,并起到热沉的作用,介电材料为聚合物,厚度在击穿电压和热阻之间权衡后选择;
i. 印制电路基板:在MCM-L(层压板)应用中,多层基板是用有机材料(如FR-4和聚酰亚胺)制备的;
a. 非气密封装:塑封微电路(PEM)的主要热通路是通过封装的底座和引线到达电路卡组件,次要的热通路是从管芯通过塑料传到空气中;
b. 气密封装:对于高可靠性和恶劣环境的用途,使用陶瓷基板或金属底座的气密封装,气密封装中的主要热通路为通过底座的传导,次要而且很小的一条热通路是对流
5、决定热阻的因素:
a. 半导体芯片尺寸:电子系统中的热量是在半导体结产生的,结面积是决定热阻的一个关键因素,同样芯片厚度也是决定热阻的重要因素;
b. 芯片粘接材料及其厚度:粘接材料的热导率是决定热阻的最重要因素;
c. 基板材料及其厚度,即基板材料的导热率和基板的厚度,尤其是基板介电材料的厚度;
d. 基板粘接材料及其厚度;
e. 封装材料及封装界面。
微电子封装热管理材料
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