Au/Zn/Au/p-InP欧姆接触的界面研究

采女孩的大蘑菇 2011-5-1 09:11:38 显示全部楼层

Au/Zn/Au/p-InP欧姆接触的界面研究

李萍，刘诗嘉，陈江峰，庄春泉，黄杨程，张燕，龚海梅
（中国科学院上海技术物理研究所，传感技术国家重点实验室，上海 200083

摘要：研究了离子束溅射制备的Au/Zn/Au/p-InP欧姆接触的界面特性。在480℃退火15s比接触电阻达到最小，为1.4

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