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芯片制造的电化学处理技术

有没有 2011-5-1 09:11:53 显示全部楼层

芯片制造的电化学处理技术
Madhav Datta
(逻辑技术发展，因特尔公司，Hillsboro,OR97104，美国)

摘要：电化学处理技术的性价比优势在芯片制造上是一个范例转移。Cu芯片金属化的双大马士革处理和面阵列芯片封装互连的C4(倒装)技术使电化学技术置于最复杂的制造工艺技术之间。这些工艺技术被集成到用于芯片制造的

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